苏扬看了半秒刘元龙，道：“这些设备，的确是最新的半导体核心设备，尤其是光刻机。”

说着，指着光刻机道：“这台光刻机里面的激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩模版都是国际最前沿的技术产品。”

苏扬继续道：“另外，掩膜台的运动控制精度达到纳米级，物镜、量台、曝光台、内部封闭框架、减振器等物，也都是目前最先进的产品。”

“当然，最主要的还是这台光刻机的光源，并非是目前国际国内流行的深紫外光。”

“所采用的光是13.5nm的软X射线，也就是极紫外光作为光源。”

苏扬的话音落下。

现场陡然变得一片寂静。

四名高冷的保镖们不知所云，作为退役的军人，他们对这些科技玩意儿一无所知，完全听得云里雾里。

但看到半导体公司的人，一个个都瞠目结舌，傻了似的，又觉得boss的话不明觉厉。

短暂的寂静之后，便是一片哗然，安正国等七人议论纷纷。

“这……”

“采用的是13.5nm的极紫外光？”

“怎么可能，我前两天才刚刚看的新闻，尼康公司的光刻机，也才在准备进发32nm半导体工艺，而光源依旧用的是193nm的深紫外光啊！”

“是啊，曝光波长一下子降到13.5nm，这岂不是意味着……它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸了！！！”

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