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第21章 真空镀膜(下)

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空气泵发出一声巨响,随后传来“咣咣咣”的声响。

许秋吓的一激灵,朝后缩了一下身子。

等了一会儿,他感觉没什么危险,便上前检查空气泵。

“看着没有问题啊。”他向学姐道。

“确实没问题,这是正常情况。现在是发动机在通过曲轴,驱动活塞向储气筒内打气,等到储满气后,就会自动停下。”

陈婉清试图绷住脸上的笑容,但是没有成功,还是笑了出来。

“学姐你是故意的吧。”许秋做出一副愤慨的样子。

“怎么会呢,我是那样的人嘛。”陈婉清笑道。

许秋摇了摇头,回到总控台,继续实验。

他打开总控开关,膜厚仪的数显屏幕亮起。

许秋先检查膜厚仪的参数是否设置正确,包括靶材名称、密度和Z因数等。

膜厚仪的原理并不是直接测量膜厚,而是通过间接法计算得到。

在蒸镀过程中,靶材分子到达晶振片处,会产生电信号,经过拟合计算可将电信号转化为蒸镀速率,最后将速率与时间相乘得到膜厚。

调好膜厚仪后,数显屏幕上显示:

蒸镀材料为钙,速率为0.00埃每秒,膜厚为0.00埃。

同时,许秋观察到总控台上面有两个气压计,可以实时监测蒸镀舱内的压强。

其中一个示数为一个大气压,即1.0E5帕,另外一个则处于未工作状态。

“为什么要安装两个气压计呢?”许秋疑惑道。

“两者的压强测定范围不同,前者约为0.1到10000帕,后者约为十的负六次方到1帕。”陈婉清道,随后又补了一句:

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