“第一个,需要高精度的光刻机。现在你们这两台,是没有办法。但是他们上不了生产线。要新型号的,精度至少要达到10微米级别。”
当前在国际上的主流光刻机的精度,已经达到了0.5μm(微米),也就是500nm(纳米)。
LED用不到这么高的精度,后世最高的LED光刻机的精度,也才800nm左右。而在这个时代,LED光刻机,只要精度在10μm之下,就可以接受了。
在当前的LED产业链里,单独提高光刻机精度未必有用,因为后续的工艺环节,精度上不来。继续提高精度,就已经超出了人工可以操作的范围。后世的解决方案是全自动化生产。但在这个时代,显然还不现实。
从资料上看,这个时代的国产光刻机,已经可以达到2~3μm的精度,作为LED光刻机,是富富有余。
但是,这话,要看跟谁讲。科仪的这种实验室用光刻机,其精度嘛,成永兴居然不知道该用什么词来形容,也许是1mm?也就是1000μm?
“第二个呢?”
“第二个,我需要定制一台大光刻机。”
向下一个技术节点冲锋的条件已经具备,可以先期着手做些准备工作了。
“大光刻机?多大算大?”
刘民学听说过光刻机的指标,都是以精度为单位,例如毫米,微米,纳米但首次听说有用《大》这个定语的。
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